低温蚀刻技术的稳定运行离不开一项关键的支撑设备——超精密温控系统（cryogenic etch Chiller）。

CP测试（Circuit Probing Test，晶圆探针测试）是半导体制造流程中的关键环节，主要在晶圆（Wafer）阶段对芯片进行电性能测试。

在芯片研发过程中进行HAST（Highly Accelerated Stress Test，高加速应力测试）测试，是确保芯片在恶劣环境下长期可靠性的关键步骤。

国产热流仪在智能化、自动化和系统集成方面也展现出独特优势，可大幅提升测试效率和数据精准性。

Chiller（冷却器/冷水机）是集成电路制造中的关键温控系统，主要用于光刻、干法刻蚀（Dry Etch）、化学气相沉积（CVD）、化学机械抛光（CMP）及快速热处理（RTP）等工艺环节，精准控制硅片托盘及反应腔的温度，为先进制程的稳定性和一致性提供了可靠保障。

Chiller ZC209是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。

“AEC-Q”是汽车电子协会组件技术委员会制定的一系列汽车电子零部件可靠性测试标准的统称。

中冷低温自主研发的HAST高加速寿命试验箱，专为HTOL配套设计，满足车规级可靠性验证全需求。