在真空腔体内，水汽分子是典型的环境污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10E-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度。

COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板，放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口，通过制冷盘管表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。

COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置，双级制冷可单独控制每一路的制冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。

 

特点

水汽抽速366000L/s

快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空时间可缩短75%

温度可达到-120℃至-150℃

产品吞吐量的20%上升到100%

在成本/性能上优于液氮制冷

制冷量可达4000W

环保型混合冷媒满足所有适用地区的环境要求（京都国际协议）。

自动化控制，支持远程通讯

高清触摸屏，方便操作的面板控制

双级制冷回路配置

 

应用

替代液氮的经济性选择

在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，以获得更好的薄膜质量

用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返

化学工程，液化工艺气体

系统

除了COOL设备单元外，还提供以下关键组件，如有需要，可以按照您的规格制造:

冷阱盘管和挡板

冷阱盘管一般安装在真空腔室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．冷阱盘管同时具有除霜功能，使冷阱盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。

冷阱挡板一般安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。

馈通件（可单独提供或作为冷阱盘管的一部分）

双通道在保持给入管和返回管之间的热隔离的同时，提供了进入真空腔的法兰。在外部，管接头与制冷剂管路可直接连接。在腔室侧，馈通和内部冷阱管道焊接在一起。

制冷机管路

制冷剂管”包括一条给入管和一条返回管，该管带有不锈钢管接头（Parker或VCR），可与COOL System和馈通件配合使用。制冷剂管采用泡沫型保温层绝热保护，防止暴露在户外空气中，以减少热量损失。

水汽压强表

有效地捕捉水蒸气的**温度是多少?

要找到适合您的真空系统的低温表面温度，请找到下面列出的系统的基本压力。然后继续到显示所需低温表面温度的右栏。这个温度表示90%的水蒸气捕获效率。

压力 Torr	温度 ℃	压力 Torr	温度 ℃
5×100	-25.4	5×10-5	-104.9
2×100	-34.4	2×10-5	-109.1
1×100	-40.8	1×10-5	-112.2
5×10-1	-46.8	5×10-6	-115.1
2×10-1	-54.3	2×10-6	-118.1
1×10-1	-59.7	1×10-6	-121.5
5×10-2	-64.8	5×10-7	-124.1
2×10-2	-71.2	2×10-7	-127.5
1×10-2	-75.8	1×10-7	-129.9
5×10-3	-80.1	5×10-8	-132.2
2×10-3	-85.6	2×10-8	-135.2
1×10-3	-89.6	1×10-8	-137.3
5×10-4	-93.4	5×10-9	-139.5
2×10-4	-98.2	2×10-9	-142.1
1×10-4	-101.6	1×10-9	-144.1

Cool System 抽气速度和压力的关系

冷阱低温表面平均温度与外加热负荷的函数关系

技术规格

型号	COOL2000H	COOL3000H	COOL4000H
制冷量（W）	2700	3500	4400
理论抽速（L/S）	228000	295000	366000
腔体内理论**抽速（L/S）	154000	198000	242000
极限真空度（Torr）	2×10-8	2×10-8	2×10-8
预制冷时间	＜30Min	＜30Min	＜30Min
冷却时间	≤4Min	≤5Min	≤6Min
除霜时间	≤5Min	≤6Min	≤7Min
冷阱管表面积 ㎡	1	1.6	2.4
冷却要求	水冷,18-32℃,2-4bar
冷却水流量要求（L/min）	＞20	＞28	＞35
冷却水接口	G3/4	G3/4	G3/4
制冷剂	环保混合型冷媒
控制系统	PLC+触摸界面
电源要求	380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz
功率	10Kw	13Kw	15Kw

 

配套附件

冷阱盘管	冷阱挡板	馈通	制冷剂管
*可定制不同形状和尺寸	*可定制不同尺寸	*可选Parker和VCR接头,规格：1寸或2寸	*标准长度2.45米，可定制长度
冷媒		冷水机
*根据设备型号,兼容Polycold设备		*根据设备配置，同时兼容其他水冷设备