晶圆温循可靠性测试的种类和测试条件
2023-12-04 16:09:56

可靠性测试的种类 (Kinds of Reliability Test)

1.预处理测试Precon Test(Preconditioning Test)

预处理测试的目的:了解半导体器件焊接后的可制造性。

模拟从封装厂到客户处的运输及在线路板上的焊接。

预处理实验后的故障缺陷有:封装面的开裂、分层、开路/短路。

2.可靠性测试Reliability Test

可靠性测试的目的:了解半导体器件贴装后在实际情况下的可靠性,可由实际用户进行归纳。

可靠性试验流程:

1)温度循环测试 T/C Test(Temperature Cycling Test)

目的:了解半导体封装承受高、低温热胀冷缩的耐久性。

测试条件:温度: +150/-65℃;时间: 15分/区间;读取点: 1000次循环;测量;开短路测试。

温度循环测试后的失效故障:由于打线键合的剥离或键球颈表面被破坏导致开路,芯片开裂导致短路。

温度循环测试后的开路失效故障:芯片顶部脱层和球颈断裂。

2)热冲击测试(迅速冷热交替)T/S Test(Thermal Shock Test)

测试条件:温度:+150/-65℃;时间: 15分/区间;读取点:1000次循环;测量;开短路测试。

3)高温仓测试(可以置于空气或者氮气柜中)HTST(High Temperature Storage Test)

目的:了解半导体封装长时间暴露在高温下的耐久性。

测试条件:温度:150℃;读取点:1000小时;测量;开短路测试。

4)T&H Test(Temperature & Humidity Test) 温度及湿度测试(潮湿环境,腐蚀,电解质置换Au. A.基板铜层可能开路short,焊盘pad Al腐蚀;b.第一bond键合点断开)

目的:了解半导体封装在高温高湿环境下的耐久性。

测试条件:温度:85℃; 湿度:85%;读取点:1000小时;测量;开短路测试。

5)PCT(Pressure Cooker Test) 高压锅测试(饱和蒸汽,100%RH,主要用于QFP产品)

目的:了解EMC和L/F之间存在的差距。

测试条件:温度:121℃;湿度:100%;压力:2ATM;读取点:168小时;测量;开短路测试。

6)高加速应力测试(不饱和蒸汽,80%RH,主要用于BGA产品)HAST(Highly Accelerated Stress Test)

目的:了解EMC与基板之间间隙的存在关系。

测试条件:温度:130℃;湿度:100 %;压力:33.3Psi;读取点:96小时;测量;开短路测试。